太赫兹天馈与波束调控技术综述*

刘 娣，牟进超，朱海亮，张巍玮，张振华，李凉海，周雨欣，乔海东，康 忱

太赫兹天馈与波束调控技术综述*

刘 娣1，牟进超1，朱海亮2，张巍玮1，张振华1，李凉海3，周雨欣2，乔海东1，康 忱1

（1 北京遥测技术研究所 北京 100076 2 西北工业大学 西安 710129 3 中国航天电子技术研究院 北京 100094）

太赫兹天馈与波束调控元件用于实现太赫兹信号的汇聚、功率分配、频率选择以及波形调整等功能，是太赫兹应用系统中必不可少的组成部分，已经广泛应用于射电天文、遥感与深空探测、雷达与成像、无线通信等领域。重点阐述了太赫兹反射面天线、太赫兹透镜、太赫兹分束器、分频器和匀束器等波束调控元件的基本原理和国内外现状，并对太赫兹天馈与波束调控技术的发展进行了展望。

太赫兹；
反射面天线；
透镜；
波束调控

太赫兹泛指频率范围为100 GHz～10 THz，位于微波和红外之间的电磁频谱。太赫兹天馈与波束调控元件是太赫兹应用系统中必不可少的组成部分，主要用于实现太赫兹信号聚焦、功率分配、频率选择等功能。本文聚焦太赫兹天馈与波束调控技术，重点分析阐述了太赫兹反射面天线、太赫兹透镜、太赫兹分束器等波束调控元件的国内外现状，为太赫兹技术工程化和创新应用提供参考。

本节分别从常规反射面天线和新型反射面天线这两个方面进行介绍。其中，常规反射面包括：地基射电天文反射面、天基遥感反射面以及地面应用反射面这三类。新型反射面天线包括：平面反射面、反射阵和新材料反射面这三类。

1.1 常规反射面

1.1.1 地基射电天文反射面

地基射电天文反射面特点为口径大（通常在十几米到几十米不等），技术难点主要包括两个方面：一是低形变材料选用和设计，二是高型面精度面板加工以及高精度拼接。

1987年，由英国科学与工程研究委员会和荷兰科学发展委员会联合研制的詹姆斯·麦克斯韦天文望远镜[1]正式投入运行，坐落于美国夏威夷莫纳克亚岛。该天文望远镜包含220 GHz～280 GHz肖特基二极管混频接收机、330 GHz～360 GHz肖特基二极管混频接收机、460 GHz～490 GHz锑化铟（InSb）二极管混频接收机、660 GHz～720 GHz InSb二极管混频接收机，以及15 m口径卡塞格伦反射面天线，如图1所示。卡塞格伦反射面天线由主反射面和副反射面组成。主反射面由276块独立的铝制轻质面板组成[2]，型面精度为10 μm（rms）；
副反射面可以通过三轴向调节补偿焦距变化。

图1 麦克斯韦天文望远镜

2003年，位于智利阿卡拉玛沙漠的大型毫米波/亚毫米波阵列ALMA（Atacama Large Millimeter/ Submillimeter Array）正式奠基[3]，如图2所示。ALMA工作于31 GHz～950 GHz频段，包括两组反射面天线阵列。第一组阵列由64个12 m口径反射面天线组成，间距从150 m～15 km不等，可实现多种模式重构；
第二组阵列也被称为“ALMA紧凑型天线阵”ACA（Alma Compact Array），由4个12 m口径天线和12个7 m口径天线组成，天线间距为50 m。第二组天线阵列既可以独立工作也可以与第一组天线阵列协同工作。两组阵列的反射面天线均采用卡赛格伦结构，采用碳纤维强化树脂CFRP（Carbon Fiber Reinforced Plastic）材料，其优势在于强度高、耐热性好、质量轻、可实现微米级型面精度。其中，12 m口径反射面型面精度为25 μm（rms），7 m口径反射面型面精度为20 μm（rms）。

图2 ALMA

1.1.2 天基遥感反射面

太空环境十分恶劣，温度变化剧烈，要求天基遥感反射面天线质量轻且环境适应性强，因此，天线材料必须具备密度小、模量高、热膨胀系数小[4]等特点。天基遥感反射面主要材料为碳化硅（SiC）和CFRP，密度分别为3.2 g/cm3和1.6 g/cm3，相对介电常数分别为9.6和8，电阻率分别为10–2～1012Ω·cm和1 Ω·cm。

2004年，美国国家航天局NASA发射了运行在705 km轨道[5]的地球观测系统EOS（Earth Observation System），搭载了微波临边探测器MLS（Microwave Limb Sounder），如图3所示，包括118 GHz、190 GHz、240 GHz、640 GHz以及2.5 THz等5个频段辐射计。低频太赫兹辐射计（118 GHz～640 GHz）采用投影面积为1.6 m×0.8 m的椭圆偏馈卡塞格伦反射面天线[6]，其主反射面采用石墨环氧树脂作为主材料并通过真空溅射在表面形成铝氧化膜，副反射面采用实心铝与金刚石作为主材料。高频太赫兹辐射计（2.5 THz）采用金刚石表面的铝制格里高利反射面天线[7]，其主反射面和副反射面口径分别为228 mm和20 mm，型面精度均为1 μm（rms）。

图3 美国EOS卫星

2009年，日本国家信息通信技术研究所NICT发射了运行于700 km轨道的620 GHz～650 GHz超导亚毫米波卫星SMILES（Superconducting Submillimeter-Wave Limb-Emission）[8]，包括反射面天线、校准热负载、星象跟踪仪、冷却系统、中频放大及数字控制系统，如图4所示。反射面天线采用口径为400 mm×200 mm的铝铁合金椭圆偏馈卡塞格伦天线，其E面和H面3 dB波束宽度分别为0.893°和0.173°，通过俯仰维机械扫描实现30 s周期、100 km范围大气扫描。

图4 日本SMILES卫星

2009年，欧空局ESA（European Space Agency）发射了工作于日地拉格朗日区的赫歇尔（Herschel）宇宙飞船[9]，如图5所示，工作波段覆盖55 µm～671 µm（对应频率范围为450 GHz～5.4 THz），采用了3.5 m口径卡塞格伦反射面。反射面采用具有低热膨胀系数、高硬度和高热导率特点的碳化硅（SiC）作为主材料并在表面形成铝氧化膜。

图5 欧空局Herschel卫星

2016年12月11日，我国第二代地球静止轨道定量遥感气象卫星——风云4号[10]成功发射，如图6所示，搭载了183 GHz和425 GHz微波探测试验载荷[11]。载荷采用160 mm口径卡塞格伦天线，通过准光馈电网络实现两个频段信号的频率和极化分离[12]。前期，上海航天电子技术研究所等单位开展了5 m口径可展开偏馈卡塞克伦天线和54 GHz～425 GHz六频段探测载荷地面试验的研究[13,14]。

图6 风云4号卫星

1.1.3 地面应用反射面

2010年，美国加州理工大学喷气动力实验室JPL（Jet Propulsion Laboratory）研制出660 GHz～690 GHz太赫兹成像雷达[15]。该雷达采用1 m口径铝合金共聚焦格里高利反射面天线在25 m距离处实现1.3 cm分辨率近场聚焦成像，如图7所示，并通过小型机械旋转次镜波束扫描实现50 cm×50 cm视场范围。主反射面采用铣削工艺加工，能够实现25 μm型面精度。

1.2 新型反射面天线

1.2.1 平面反射器天线

2017年，东南大学毫米波国家重点实验室面向低成本高效率宽带太赫兹探测需求，研制了325 GHz～500 GHz平面反射器天线[16]，如图8所示。天线由E面喇叭天线、准平面反射器、扼流槽和馈源喇叭等四部分组成，扼流槽用于有效抑制侧壁反射波从而减小对辐射性能的影响。实物采用技术成熟度较高的低成本金属铣削工艺加工而成。测试结果表明：天线最大增益为32 dBi@500 GHz，带宽内增益不低于26.5 dBi，反射系数低于−20 dB。

图7 JPL太赫兹成像雷达

图8 325 GHz～500 GHz平面反射器天线

1.2.2 反射阵天线

2013年，清华大学杨帆教授团队面向高增益太赫兹天线应用需求，提出太赫兹反射阵天线概念[17]。反射阵天线综合了反射面和相控阵的优点，具有轮廓低、馈电简单、低损耗等特点[18]。图9（a）为100 GHz 30 mm直径背面镀金介质反射面天线[19]，采用3D打印技术实现，材料相对介电常数为2.76、损耗角正切为0.039。天线在25°入射角条件下的反射方向增益为22 dBi。图9（b）为具有偏转反射功能的贴片反射阵天线[20]，采用相对介电常数为2.35的聚二甲基硅氧烷PDMS（Polydimethylsiloxane）作为衬底，在600 GHz和930 GHz处分别能够实现最强镜面反射和偏转反射。

图9 太赫兹反射阵天线

2018年，电子科技大学电子科学与工程学院研制了面向成像应用的太赫兹双频段二维聚焦扫描反射阵天线[21]，如图10所示。天线通过不同形状和尺寸的反射面单元调控不同频点相位实现波束转向，从而实现频变成像波束扫描。

图10 二维聚焦扫描反射阵天线

2019年，东南大学毫米波国家重点实验室面向高密度无线通信基站应用需求开展了357 GHz～421 GHz折叠反射阵天线[22,23]研究，如图11所示。天线由基于石英光刻工艺的周期结构单层反射阵、基于印制电路板技术的线栅偏振器和喇叭馈源天线组成，并通过3D打印技术集成。测试结果表明：该天线增益为33.66 dBi@400 GHz，口面效率为33.65%，3 dB增益带宽为16%。

1.2.3 新材料反射面

2013年，瑞士纳米实验室探索了基于石墨烯贴片的太赫兹反射阵天线[24]，如图12所示。石墨烯的特殊电子能带结构和单原子厚度使材料可以等效为受频率、温度、化学势能因素影响的复杂电导率表面，能够有效减小反射阵天线单元尺寸从而提升工作带宽。相比于传统金属贴片太赫兹反射阵天线，石墨烯贴片太赫兹反射阵天线增益带宽能够从11%提升至15%。

图11 357 GHz～421 GHz折叠反射阵天线

图12 基于石墨烯贴片的太赫兹反射阵天线

2017年，合肥工业大学计算机与信息学院探索研究了基于液晶材料的双偶极子反射阵天线[25]，如图13所示。由于液晶分子排布方向会随着偏置电压变化而有序改变，因此液晶材料能够通过电压控制等效介电常数进而实现相位变化。仿真结果表明：该天线在330 GHz～338 GHz频率范围内实现不小于250°的相移，在336 GHz处最大相移为285°。

图13 基于液晶的双偶极子反射阵天线

本节分别从常规材料透镜和新型透镜两个方面进行介绍。其中，常规材料太赫兹透镜天线包括高阻硅介质透镜和聚四氟乙烯介质透镜两类；
新型太赫兹透镜天线包括3D打印介质透镜、超材料透镜和大景深透镜组三个方面。

2.1 常规材料太赫兹透镜天线

2.1.1 高阻硅介质透镜

2011年，西班牙马孔普卢腾斯大学光学系采用硅基微加工技术研制出半球形高阻硅透镜天线[26]，如图14所示。透镜材料为高阻硅（相对介电常数为11.9），采用漏波波导馈电。测试结果表明：透镜天线3 dB波束宽度为18°@550 GHz。2013年，该团队进一步研制出530 GHz～590 GHz的3×3高阻硅透镜阵列天线[27]，单元直径为2.5 mm，带宽内副瓣电平小于–29 dB。

图14 高阻硅透镜太赫兹天线

2013年，英国格拉斯哥大学基于各向异性刻蚀多能级硅技术实现了2.52 THz衍射透镜[28]。该透镜采用菲涅尔透镜形式，直径为45 mm，焦距为15 mm，硅材料折射率为3.42。该研究对比了刻蚀层级分别为16级和4级工艺实现的透镜，测试结果表明：16级透镜的光斑尺寸更小、波束轮廓更清晰并且效率更高，如图15所示。

图15 基于各向异性刻蚀多能级硅技术的2.52 THz衍射透镜

2019年，美国加州理工大学JPL实验室研究了500 GHz太赫兹扫描波束透镜天线[29]，采用漏波波导作为馈源，并通过压电控制电机途径改变馈源与透镜相对位置实现波束扫描。测试结果表明：该透镜天线扫描视场角为50°，增益为27 dBi，阻抗带宽为520 GHz～575 GHz，扫描过程中增益波动保持在1 dB以下，如图16所示。

图16 JPL实验室500 GHz波束扫面透镜天线

2.1.2 聚四氟乙烯介质透镜

2020年，北京遥测技术研究所173团队采用聚四氟乙烯材料研制了220 GHz 100 mm直径双曲透镜如图17所示，能够实现7 mm成像分辨率。聚四氟乙烯材料的相对介电常数为2.2，在220 GHz处损耗正切角为0.002，相比于高阻硅等高介电常数材料，聚四氟乙烯波阻抗与自由空间波阻抗更为接近，阻抗失配更小。

图17 焦平面成像双曲透镜

2.2 新型太赫兹透镜天线

2.2.1 3D打印介质透镜

2019年，北京遥测技术研究所173团队研制了基于3D打印介质透镜封装的太赫兹探测器[30]，如图18所示。透镜采用尼龙材料，直径为4 mm。测试结果表明：探测器在210 GHz～230 GHz频率范围内的响应率为1 100 V～2 190 V/W，最大响应率和最小噪声等效功率分别为2 190 V/W和2.6 pW/√Hz@ 223 GHz。

图18 基于3D打印介质透镜的太赫兹探测器

2019年，香港城市大学太赫兹及毫米波国家重点实验室研制出太赫兹菲涅耳透镜天线[31]，采用3D打印实现了奇数菲涅耳区离散介质柱阵列，如图19所示，介质材料为高温树脂（r=2.66，tanδ=0.03）。测试结果表明：天线在265 GHz～320 GHz频段内轴比小于3 dB，最大增益为27.4 dBi@300 GHz。

图19 基于3D打印的菲涅耳透镜天线

2.2.2 超材料透镜

2017年，天津大学太赫兹中心开展了基于GaAs超材料单元的太赫兹准直波束低剖面透镜研究[32]，如图20所示，利用砷化镓超材料单元改变波束相位从而实现波束准直化。该透镜采用1 350 μm厚高阻硅（折射率为3.6）为衬底，采用650 μm厚GaAs（折射率为3.45）实现超材料单元。仿真结果表明：在1 THz频率下，4 mm口径透镜在20 mm远处的3 dB光斑直径为2.4 mm。

图20 基于GaAs超材料单元的太赫兹全介质透镜

2021年，电子科技大学太赫兹技术研究中心探索研究了基于二氧化钒材料的焦距可调透镜[33]，如图21所示。二氧化钒具有绝缘体-金属相变特性，能够通过外部热或光学泵浦激励引起二氧化钒相位变化进而实现焦距变化。测试结果表明：该透镜在500 GHz～ 680 GHz频率范围内能够实现2.5 mm～7.5 mm焦距变化。

图21 二氧化钒焦距可调透镜

2.2.3 大景深透镜组

2019年，华中科技大学武汉光电国家研究中心，开展了具有贝塞尔波束特征的无衍射波束透镜组研究[34,35]，由2个3D打印光敏树脂材料（吸收系数=1.5cm-1，折射率=1.655）轴棱锥和1个聚甲基戊烯（TPX，r=3.1）透镜组成，如图22所示，直径均为50.8 mm。透镜组输出光束具有一维不变横向剖面，景深范围为30 mm～300 mm，半峰值辐射宽度为2.57 mm。相比于单个聚甲基戊烯透镜，该透镜组景深增加了5倍。

图22 无衍射波束透镜组

本节分别介绍了太赫兹分束器、分频器、准光滤波器和匀束器四类典型波束调控元件。其中，太赫兹分束器包括双工器、多功能超表面光栅和极化分束器；
太赫兹匀束器包括基于传统透镜的匀束器、基于微透镜阵列的匀束器以及基于超材料的匀束器。

3.1 太赫兹分束器

3.1.1 双工器

2011年，美国加州理工大学JPL实验室面向人体安检应用需求开展了675 GHz调频连续波雷达研究[36]，如图23所示。为了实现收发双工高隔离度，该系统采用与收发链路轴线夹角均为45°的232 μm厚高阻硅片双工器实现隔离器和环形器功能。理想条件下，该双工器发射和接收链路损耗均为3 dB，即收发链路固有总损耗为6 dB。尽管该方案简单且成本低，但会导致系统信噪比降低。为了在不增加系统复杂度的条件下提升系统信噪比，该团队于2012年研制了基于光栅的圆极化双工器[37]。在该方案中，采用具有线极化特性的金属栅网替代高阻硅片双工器，从而实现水平极化信号透射和垂直极化信号反射。此外，基于圆极化信号的目标回波会发生极化反转的原理，采用光栅极化器将发射信号从水平极化转换为右旋圆极化，将接收信号从左旋圆极化转换为垂直极化。由此解决了传统高阻硅片双工器方案存在收发链路总损耗高的问题，使系统信噪比提升了4 dB～5 dB。

图23 美国JPL实验室675 GHz调频连续波雷达

3.1.2 极化分束器

极化分束器通过调控正交极化信号的相位实现极化分离。2018年，澳大利亚阿德莱德大学电气与电子学院提出宽带圆极化波束分离方案[38]，如图24所示。利用不同极化谐振单元组成子阵从而形成具有双折射功能的超材料，实现对左旋圆极化和右旋圆极化的分离。测试结果表明：该极化分束器相对带宽为53%，能够工作于580 GHz～1 THz频段，780 GHz处的整体透射效率为61%，1.05 THz时具有最大透射效率96%。2020年，澳大利亚悉尼科技大学电气与数据工程学院提出基于3D打印的低剖面菲涅尔-罗森棱镜方案[39]，如图25所示，利用罗森棱镜实现两个正交极化信号出射角的独立调控从而实现极化分束，通过集成菲涅尔透镜使整体厚度减小50%，损耗减小50%。

3.1.3 多功能超表面光栅

2020年，南开大学现代光学研究所利用3D打印技术，实现了基于聚乳酸聚合物PLA（Polylactic Acid）的超表面光栅[40]，实现了±70°折射分束，如图26所示。2021年，该课题组在上述工作基础上提出太赫兹多功能超表面光栅概念[41]，如图27所示，通过在传播方向上设计非对称结构实现具有非对称传输特性的异常折射，并采用3D打印技术研制140 GHz多功能超表面光栅。实验结果表明：在+方向照射条件下，该光栅实现一分二波束分离，折射角分别为+70°和–70°，效率分别为43.7%和39.5%；
在–方向照射条件下，实现+70°异常折射，效率为80.7%。

图25 基于3D打印的低剖面菲涅尔-罗森棱镜

图26 基于PLA介质的三种超光栅

3.2 太赫兹分频器

2004年，美国NASA发射卫星系统EOS，卫星MLS载荷[5]的118 GHz、190 GHz、240 GHz、640 GHz辐射计采用光栅，如图28所示，实现了太赫兹分频功能（在该载荷描述中被称为“二向色板”）[42]。

图28 EOS卫星分频网络

2021年，美国犹他大学电气计算机工程系基于衍射光学元件原理[43]，利用梯度下降辅助的二元搜索算法，逆向优化设计了太赫兹分频器中各个离散化像元的高度分布，实现了宽带太赫兹信号的频率分离，如图29所示。该分频器采用了聚乳酸聚合物PLA作为介质材料，利用3D打印技术完成样品制作。测试结果表明：该结构能够有效实现500 GHz、600 GHz和700 GHz三个频段的频率分离。

3.3 太赫兹准光滤波器

2017年，武汉纺织大学电子与电气工程学院提出一种基于二氧化钒的可调谐太赫兹超表面[44]，通过温度控制，使二氧化钒呈现从绝缘体到金属导体的相变，实现温控透射率变化。测试结果表明：1.03 THz和1.41 THz两个频段的传输率变化高达80%和40%，如图30所示。

图29 基于衍射光学原理的太赫兹分频器

图30 二氧化钒超材料可调谐太赫兹超表面

2018年，电子科技大学电子工程学院研制出基于六边形介质集成波导SIW（Substrate Integrated Waveguide）的太赫兹频率选择表面FSS（Frequency Selective Surface）[45]，如图31所示。该六边形SIW单元能够使FSS具有极化稳定性高和频率选通性好的特点，并且可以采用印制电路板技术实现低成本加工。测试结果表明：样品中心频率为140 GHz，相对带宽为7%，中心频率处插入损耗为0.28 dB，在0°～15°入射角范围内具有稳定的频率选通特性。

图31 基于SIW的太赫兹FSS

3.4 太赫兹匀束器

3.4.1 基于传统透镜的匀束器

2010年，德国伊尔梅瑙工业大学微波光学系面向主动成像应用提出一种具有均匀照射能力的高斯-平顶波束匀束器GTBS（Gaussian to Tophat Beam Shaper）方案[46]，如图32所示，工作频率范围为600 GHz～ 640 GHz，采用直径为200 mm的聚丙烯材料（Polypropylene，r=2.43）透镜，在3 m距离处实现半功率波束宽度135 mm。

图32 高斯-平顶波束匀束器

2020年，北京遥测技术研究所173团队利用喇叭天线和直径100 mm的聚四氟乙烯平凸透镜，实现了高斯-平顶波束转换，如图33所示。平凸透镜焦距为150 mm，将喇叭天线端口放置在平凸透镜焦距处可实现波束准直化。仿真结果表明：该透镜可以在200 mm处实现半功率波束宽度为45 mm。

图33 173团队高斯-平顶波束转换器

3.4.2 基于微透镜阵列的匀束器

2019年，罗马尼亚国家物理研究所研制了一种基于微透镜阵列[47]的太赫兹匀束器[48]，如图34所示，工作于2.5 THz和激光（波长为980 nm）频段。利用柱形微透镜阵列实现一维匀束，在柱形微透镜阵列焦距处放置与柱轴正交的微透镜阵列实现二维匀束。柱形微透镜阵列中每个单元曲面半径为(750±5%) μm，单元间距为250 μm，采用石英（SiO2）作为介质材料。

图34 微透镜阵列太赫兹激光匀束器

3.4.3 基于超材料的匀束器

2020年，伊朗谢里夫理工大学电气工程系提出一种基于高阻硅渐变超材料的高斯-平顶波束匀束器[49]方案（图35），背面通过加载均匀间距的圆柱超材料表面抑制镜面反射。该透镜工作频率为100 GHz，匀束器直径为20 cm，能够在2 m距离处将8 cm直径高斯光束光斑扩展成64 cm直径平顶光斑。

图35 基于高阻硅渐变超材料的高斯-平顶波束匀束器

太赫兹天馈与波束调控元件是太赫兹应用系统中必不可少的组成部分。本文分别介绍了太赫兹反射面天线、太赫兹透镜、太赫兹分束器、分频器、匀束器等波束调控元件的国内外技术发展现状，涉及射电天文、大气遥感、探测和通信等多方面应用领域。通过上述综合分析可以看出：太赫兹天馈与波束调控元件向着高性能、高集成度、轻质化、多功能方向发展，关键技术涉及太赫兹自适应准光技术、太赫兹新材料新工艺天线与波前调控技术、太赫兹多波段天馈技术等。

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Review on terahertz antennas and beam manipulation technology

LIU Di1, MOU Jinchao1, ZHU Hailiang2, ZHANG weiwei1, ZHANG Zhenhua1, LI Lianghai3, ZHOU Yuxin2, QIAO Haidong1, KANG Chen1

（1. Beijing Research Institute of Telemetry, Beijing 100076, China;2. Northwestern Polytechnical University, Xi"an 710129, China;3. China Academy of Aerospace Electronics Technology, Beijing 100094, China）

Terahertz antennas and beam manipulation elements are used for realizing terahertz wave focusing, power division, frequency selection and beam shaping. These elements are essential components in terahertz systems, which have been widely used in radio astronomy, remote sensing and deep-space exploration, radar and imaging, wireless communication and other fields.This paper focuses on the basic principles and status quo both at home and abroad of terahertz reflector antenna and lens, beam splitter, dichroic plate and beam homogenizer. Also, we prospect the development trend of terahertz antennas and beam manipulation technology.

Terahertz; Reflector antenna; Lens antenna; Beam manipulation

Website: ycyk.brit.com.cn Email: ycyk704@163.com

TN82

A

CN11-1780(2022)06-0001-20

10.12347/j.ycyk.20220215001

刘娣, 牟进超, 朱海亮, 等.太赫兹天馈与波束调控技术综述[J]. 遥测遥控, 2022, 43(6): 1–20.

10.12347/j.ycyk.20220215001

: LIU Di, MOU Jinchao, ZHU Hailiang, et al. Review on terahertz antennas and beam manipulation technology[J]. Journal of Telemetry, Tracking and Command, 2022, 43(6): 1–20.

军科委基础加强计划重点项目；
北京市科技新星项目（Z201100006820130）

本文是太赫兹焦平面阵列成像系列论文之三

牟进超（13436520663@163.com）

2022-02-15

2022-03-18

刘 娣 1994年生，硕士，助理工程师，主要研究方向为太赫兹天伺馈与源技术。

牟进超 1985年生，博士，高级工程师，主要研究方向为太赫兹科学与技术。

朱海亮 1987年生，博士，副教授，主要研究方向为超材料、太赫兹器件、天线设计。

张巍玮 1981年生，硕士，高级工程师，主要研究方向为微系统与传感器。

张振华 1977年生，博士，研究员，主要研究方向为雷达与卫星有效载荷技术。

李凉海 1965年生，硕士，研究员，主要研究方向为雷达系统设计。

周雨欣 1999年生，硕士，主要研究方向为太赫兹器件。

乔海东 1990年生，博士，工程师，主要研究方向为太赫兹探测芯片与微系统技术。

康 忱 1995年生，硕士，助理工程师，主要研究方向为太赫兹成像算法技术。

(本文编辑：傅 杰)

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